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工場で活躍する精密機械たち

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金属部品を加工する普通旋盤

ボルト、コネクタ、シャフト、ノズルなど、ありとあらゆる機械に使われている金属部品を正確な形に加工する工具。
従来は、熟練した職人による作業が主でしたが、現在は、数値による制御(Numerical Control)装置を取り付けた旋盤も普及しています。
英語の頭文字をとって名付けられたNC旋盤では、刃物台の移動距離や送り速度を数値制御することができます。
旋盤による加工では、外形削り、溝切り、面取り加工だけでなく、ねじ切りも可能であることから、ボルトやコネクタなど、他の部品との嵌合を可能にした部品も作ることができるのです。
数字でいうとミクロン(1000分の1)の単位での加工が要求される緻密な作業を実現させる制度の高い精密工具です。

半導体製造に欠かせないCMP装置

パソコンやスマートフォンなど電子機器には必ず搭載され、機器制御機能をつかさどる役割をもつ半導体。
その製造工程で使用される化学機器研磨(chemical mechanical polishing)装置、略してCMP装置は最も重要な作業を担っています。
というのも、半導体の土台となるシリコンの平板「ウェーハ」の切断面が凸凹していると、その上に配線することができなくなってしまうためです。
切断面をn(ナノ)レベルまで平滑化していく必要があるのです。
研磨していくこの作業は研磨剤やウエーハのカスなどが出るため、無菌状態で作業している半導体製造現場ではご法度な作業です。
その為、ウェーハの洗浄作業まで一つの箱に収めたような装置になっています。



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